标签：51
热烈祝贺东方集成功在上海某研究所安装了SENTECH SI500D等离子体沉积系统

热烈祝贺东方集成功在上海某研究所安装了SENTECH SI500D等离子体沉积系统

2012年3月，东方集成在上海某研究所成功安装了SENTECH SI500D等离子体沉积系统。SI500D等离子沉积系统是ICP-PECVD设备，用于在基片上沉积SiOx, SiOxNy或SiNy薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。 这是带LOADLOCK的SI500D等离子沉积系统在中国的第一次安装。SENTECH ICP-PECVD设备的安装
  • 2024-10-21
  • 0

随便看看

推荐排行

  • 艾雷斯与英特尔联手举办信息自动化与定制平台研讨会
  • 研祥高性能信息系统打造高品质旅客服务系统
  • 研祥轨道交通终端计算平台结构发展交流会在京举行
  • 研祥轨道交通AFC设备终端ERC1005荣获优秀解决方案奖

阅读排行

Copyright © 2025 河南蓝漫网络科技有限公司 豫ICP备2023031239号-6

友情链接：